IR 検査・測定システム(IR Measurement System)

当社は、シリコン内部を透過して構造的な欠陥を検出できる IR 検査システムを提供しています。
ウェーハ内部のクラック、チッピング、オーバーレイ（Overlay）ずれ、さらにはダイ（Die）に起因する製造工程上の欠陥まで、幅広く検出することが可能です。