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2D AOI 測定システム(2D Measurement System)

2D AOI 測定システム(2D Measurement System)

当社は、半導体および OSAT の各種プロセスにおいて、高精度な 2D 欠陥検出を可能にする 2D 検査・測定ソリューションを提供します。
システムの特長
・超高解像度かつ高スループットでの検査が可能
・測定精度:±1 µm クラス
・リアルタイム検査により歩留まり低下を防止
・データ最適化と欠陥分析により誤検出を低減
・AI 判定アルゴリズムによる欠陥分類の自動化(オプション)
・装置構成・レイアウトを含め、フルカスタマイズに対応

適用例
・寸法測定および外観確認を必要とするあらゆる部品に適用可能