

2D AOI 測定システム(2D Measurement System)
当社は、半導体および OSAT の各種プロセスにおいて、高精度な 2D 欠陥検出を可能にする 2D 検査・測定ソリューションを提供します。
システムの特長
・超高解像度かつ高スループットでの検査が可能。
・測定精度:±1 µm クラス。
・リアルタイム検査により歩留まり低下を防止。
・データ最適化と欠陥分析により誤検出を低減。
・AI 判定アルゴリズムによる欠陥分類の自動化(オプション)。
・装置構成・レイアウトを含め、フルカスタマイズに対応。
適用例
・寸法測定および外観確認を必要とするあらゆる部品に適用可能。
