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內埋元件檢測(Embedded Component Inspection)

半導體

精準掌握 Interposer 內埋結構,支援 CoWoS 高階封裝量產需求

在 CoWoS、2.5D/3D 異質整合與高階運算晶片(AI/CPU/GPU)應用中,Interposer(中介層)是決定良率與可靠度的關鍵。隨著 Bump 尺寸微縮與佈線密度暴增,如何克服電性不穩定、微小 Bump 對位與內埋結構缺陷,成為量產導入的首要挑戰。

興城科技推出高階內埋檢量測方案,整合自主研發 ASIC 電測核心、多頻段 LCR 模組與高精度視覺對位技術,精密對應 Bump Size < 20 μm 的檢測需求。透過高穩定、量產導向的架構,協助客戶消除複雜佈線帶來的測試不一致風險。

本方案不僅能精準檢出異常,更能無縫嵌入高階封裝的製程控制(Process Control),全面降低後段報廢風險,加速 AI 高效能晶片的量產導入時程。

核心技術亮點

  • 獨家自主開發電測 ASIC 晶片,實現高速精準量測

  • 內建高精度 LCR 測量模組,精準無干擾

  • 極致優化架構,消除複雜佈線,大幅提升系統穩定性

  • 精準對應 Interposer Bump Size < 20 µm 精密量測