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2D 檢量測系統( 外觀缺陷、異物、刮傷、表面異常、尺寸、位置偏移、材料覆蓋率及填充率檢測 )

半導體

高解析2D AOI,精準掌握表面缺陷與尺寸偏移

在半導體與封裝製程中,表面缺陷、尺寸偏移、圖形異常與外觀瑕疵,往往是影響後段製程穩定性與產品良率的關鍵因素。隨著線路與元件結構持續微細化,傳統目視檢查或低解析檢測方式已難以滿足高精度製程需求,極易因人工判讀差異而導致漏檢與誤判風險。

興城科技 2D 檢量測系統具備超高解析度與高產能,專為半導體與封裝產線量身打造,提供全面的外觀缺陷檢查與關鍵尺寸監控。

即時輸出量化數據,協助客戶消除主觀判讀差異、顯著提升缺陷判定的一致性。不僅能在大規模量產階段即時攔截異常、防止良率損失,更能協助研發與製造團隊以客觀數據優化製程。

核心技術亮點

  • 極致高精度量測:精度≥ ±1 μm

  • 兼顧超高解析度與高產能之即時檢測能力

  • 選配 AI 智能判別模組,強化產線自動化缺陷判定