CoWoS／CoPoS対応フラックス2D/3D膜厚被覆率検査／計測システム

先端パッケージング工程では、プロセス技術の進化に伴い、フラックスの膜厚と被覆率の管理がウェーハ接合歩留まりを左右する重要な要素となっています。基板の大型化に伴う反りの問題に対して、従来のフラックス被覆率検査だけでは正確な定量評価が困難です。そのため、接合前に潜在的なリスクを確実に検出するには、包括的な2D被覆率解析とナノメートルレベルの3D膜厚計測を組み合わせる必要があります。

Centrum Technologyの「ウェーハ／基板向けフラックス2D＋3D膜厚・被覆率検査／計測システム」は、独自のAI判定技術と先進的な光学計測技術を統合しています。独自アルゴリズムを用いて、大面積に配置されたパッドのフラックス被覆状態を高速に分類し、被覆率を算出します。さらに、指定した位置を対象に、サブミクロンレベルの3D膜厚および表面形状を計測します。得られた定量データを活用することで、塗布条件の最適化とクローズドループ工程制御を支援します。

本システムは、CoWoSをはじめとする先端パッケージングおよび先端基板工程において、フラックス塗布状態の確認、基板反り異常の解析、歩留まり改善効果の検証に適用できます。高額な工程損失が発生する前に根本原因を特定し、材料特性を把握するとともに、異常発生時の原因追跡時間を短縮します。