内蔵型インターポーザー測定システム

当社は CoWoS プロセスに対応し、最先端の AI／CPU／GPU 向けチップに最適化された内蔵型インターポーザー測定ソリューションを提供します。

コア技術の特長
・自社開発の電気検査用 ASIC チップを採用し、高速かつ高精度な測定を実現。
・高精度 LCD モジュールを内蔵し、安定した高精度測定をサポート。
・高精度 LCR 測定モジュールを搭載し、干渉のない正確な測定が可能。
・複雑な配線を簡素化し、システム全体の安定性を向上。
・インターポーザーのバンプサイズ 20µm に対応した高精度アライメント測定が可能。